新型高效热丝气相沉积系统仪器信息介绍
新型高效热丝气相沉积系统
一、 设备名称，规格型号
新型高效热丝气相沉积系统；福宜FE-HWCVD-160
二、 技术参数
1.设备名称: 热丝化学气相沉积系统
2.设备型号:FE-HWCVD-160
3.极限真空: <=6.67 E-5Pa
4.真空系统漏率:<1.0x10-7PaL/S
5.加热最高温度:450 ℃
6.加热均匀性:±9 ℃
7.输入电源:3-380 V 10 KW
8.抽速:从大气抽到 9.0x10-4 Pa 的时间少于 30 min
9.热丝支架调节范围:100 mm
10.样品面积 :160*160
11.直流电源: 60 A ，60 V
12.工作环境温度:10 ℃ -40 ℃
13.工作环境湿度: <45%
14.冷却水循环量 :0.2m3/H，水温:1825°C，制冷量2600W
15.压缩空气:0.5~0.8MPa
三、 工作原理
该技术主要是利用热丝加热反应气体，使其分解并沉积在基底上，从而形成薄膜。热丝化学气相沉积技术可以控制反应气体的流量和温度，从而可以控制沉积薄膜的成分和结构，使其质量更高。
新型高效热丝气相沉积系统真空原理图
四、 应用领域
热丝化学气相沉积 (Hot Wire ChemicalVapor Deposition，HWCVD)是一种新型的化学气相沉积技术，它是在传统的化学气相沉积技术的基础上发展起来的。
热丝化学气相沉积技术具有以下优点:
1.高沉积速率:由于热丝加热反应气体，使其分解并沉积在基底上，因此沉积速率较快
2.沉积薄膜质量高:热丝化学气相沉积技术可以控制反应气体的流量和温度，从而可以控制沉积薄膜的成分和结构，使其质量更高。
3.适用范围广:热丝化学气相沉积技术可以沉积多种材料的薄膜如金属、半导体、氧化物等
4.设备简单:相比于其他化学气相沉积技术，热丝化学气相沉积技术的设备较为简单，易于操作和维护。
热丝化学气相沉积技术的应用范围非常广泛，如太阳能电池、显示器件、光电器件、传感器等领域。例如，在太阳能电池领域，热丝化学气相沉积技术可以沉积硅、铜钢嫁硒等材料的薄膜，从而提高太阳能电池的效率。
五、 可开展实验项目
无
六、 可培训实验技能
1、WOx的薄膜沉积
七、 操作规程
1、开机：顺序：总电源——>冷水机——>机械泵——>分子泵
2、登录操作系统，打开真空计。
3、长按“自动真空”，等待设备开始抽真空
4、放入样品
关闭真空计，关闭“2#插板阀”，关闭“前级阀2”，打开“放气阀2”。待内外气压一致后拧开“进样室”外的螺丝。放置样品后长按“自动真空”。
5、沉积薄膜
待“沉积室”与“进样室”压强一致后，打开中间的“电动插板阀”，将样品架推入沉积室。关闭真空计，调整需要的气体流量，其余参数为默认值，打开热丝电源，增加电流到需要的数值（该设备电流最高为60 A）
6、取样
沉积完成后，关闭气体阀门，打开真空计，打开中间的“电动插板阀”，样品架拉回到进样室。关闭真空计，关闭“2#插板阀”，关闭“前级阀2”，打开“放气阀2”。待内外气压一致后拧开“进样室”外的螺丝，取出样品架。
7、关机（正常情况须长时间待机）
关闭2台分子泵，待分子泵停转后，关闭冷水机、机械泵、真空计。最后关闭总电源。
八、 安全注意事项
1、本机属贵重精密仪器，未经培训人员禁止操作。
2、禁止改变设备中的默认值，在开启和关闭样品舱室门时，小心机械伤人。
3、样品舱室门的螺丝必须拧紧，设备登记必须完整。
4、测试过程中有异常，请告知设备管理老师和管理员。
5、设备如发出警报声，须立即查看操作界面的提示。
